二手 ASM TLB 139 #9299469 待售

ASM TLB 139是一款功能強大、用途廣泛的掩模和晶圓檢測設備。它是對半導體生產流程缺陷表征的綜合解決方案。該系統可以快速識別晶圓表面的異常，並使用長工作距離顯微鏡設計測量發現的缺陷深度。此外，它還可以在晶圓水平上測量用於IC生產的掩模的厚度。TLB 139具有高達2000倍的高放大倍率,能夠以極高的精度和精確度檢測口罩和晶片上的小特征。該裝置配有兩個成像照相機：一個面罩照相機和一個晶圓照相機。遮罩相機是為遮罩的高分辨率成像而設計的，而晶圓相機則在大視野中捕捉晶圓表面缺陷的微觀圖像。本機利用內置的光學模式識別算法提供精確的缺陷分析。它可以通過區分背景底物和實際特征來區分潛在缺陷和誤報。ASM TLB 139提供了偏振、反射光和透射光等多種觀察模式。通過這些各種模式，用戶可以觀察蒙版材料，通過蒙版看到下面的晶片表面。工具的查看模式也可用於檢測明亮基板上難以看到的特征。自動聚焦調整可用於宏觀或微觀聚焦於給定的興趣區域，手動電動xy掃描可用於以更小的步驟精確移動顯微鏡資產，以進行更詳細的檢查。該模型能夠對收集到的數據進行智能和自動化管理,從而能夠快速、方便地分析和共享結果。收集的所有數據都存儲在共享網絡驅動器中,以便進一步查看或進行高級診斷。TLB 139掩模和晶片檢測設備還能夠加載和保存宏函數,以便將來以不同的設置重復使用或重復使用。這一特點使得該系統適用於不同類型的生產線。