二手 ASM TLB 139 #9362813 待售
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ASM TLB 139是一種通用的掩模和晶片檢測設備,設計用於掩模和晶片表面的自動、高速圖樣幾何形狀、缺陷特征和金屬分析。該系統能夠生成從單點到線性缺陷以及2D和3D陣列幾何的缺陷特征的完整輪廓。TLB 139還提供了廣泛的模式分析自動化功能,包括用於掩碼和標線檢查的專用軟件包、模式結構分析、CD/OCD測量和波紋分析等。ASM TLB 139的主體利用最新的高精度光學技術,結合高分辨率、兩級電荷耦合器件(CCD)相機,使每次檢查的分辨率和放大能力都具有極高的細節和精度。通過使用最先進的5軸電動舞臺單元,可以為每個特征選擇適當的放大倍率和焦點級別。這一過程允許每個檢查特征的最佳質量和準確性。TLB 139還配備了自動缺陷識別機,能夠準確地自動分類暗弱和強缺陷以及熱點。此自動化功能包括各種特征描述符,如曲率、對比度、對稱性和大小。使用這些描述符,該工具能夠區分和表征現有結構中的周期性缺陷,以及評估是否存在偏移、錯位和斷開模式。ASM TLB 139還包括用於預定義參數和自定義用戶定義設置的綜合數據庫資產。所有參數都配置並存儲在模型的內存中,並通過全面選擇預設模式來自動執行掩碼和晶圓檢查。這一設備還允許在蒙版或晶片的裸露和覆蓋區域對不同類型的金屬層(如金、鋁和銅)進行準確和可靠的檢查,並具有完整的蒙版或晶片數據分析和報告能力。總體而言,TLB 139是一個用途極為廣泛的掩模和晶片檢查系統,配備了最新的高精度光學器件和先進的自動化功能,能夠對基本和復雜功能進行平穩可靠的檢查。ASM TLB 139具有強大的用戶友好功能,為高速模式檢查和缺陷表征提供了高效而全面的解決方案。
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