二手 ASML / HMI EP3 #293615134 待售

ASML/HMI EP3是一種掩模和晶圓檢測設備，旨在為半導體織物提供高分辨率成像和臨界檢測能力。該系統由集成了最先進的場發射電子源的電光柱和固態成像柱組成。多區光學單元配備了激光光源和消磁光學器件，提供了大視野和延伸的聚焦深度。采用多角度成像技術在保持高放大倍率的同時減少失真。多束電子掃描頭包含一個二次電子探測器和一個居中場發射電子源，能夠產生具有可變加速電壓高達100kV的光束。光束能夠產生高對比度成像與晶體結構存在於樣品。成像模塊與廣泛的控制和數據采集電子設備集成在一起。該單元的軟件模塊提供了一個直觀和操作員友好的圖形用戶界面，具有長期的數據存儲和檢索功能。檢測結果可集成在工藝控制機中，用於掩模和晶圓制造工藝的精密控制。HMI EP3還允許通過提供用戶定義的檢查區域、詳細的錯誤表以及可編程的數據存儲和檢索功能來自定義單個工廠需求。此外，該工具可靠、高效和準確，能夠在指定的測試參數內取得精確的結果。該資產允許用戶控制同一樣本的多個視圖,從而實現更好的分辨率和圖像質量。多光束操作可增加掃描時間,並且光束控制可實現多邊形級別的精確詳細信息。此外,掩碼和晶圓成像軟件允許操作員定義檢查區域,跨多層監視它們,並隔離成像過程中遇到的任何錯誤。總之，ASML EP3是一種先進的掩模和晶圓檢測模型，旨在提供可靠高效的性能，具有高分辨率成像和臨界檢測能力。該設備可根據各工廠的要求進行定制,並可實現精確的錯誤監控和數據檢索。多區光學成像、多束電子掃描頭、人性化的軟件界面，使該系統成為半導體行業生產過程控制和檢測的理想選擇。