二手 BROOKS AUTOMATION 3L #9197117 待售

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BROOKS AUTOMATION 3L
已售出
ID: 9197117
Macro inspection system.
BROOKS AUTOMATION 3L是一種全自動晶圓和掩模檢查設備,用於半導體晶圓制造環境。該系統是一個高分辨率晶片圖樣識別平臺,利用最先進的成像和分析技術檢測晶片圖樣和掩碼的缺陷。該裝置采用先進的雙波長Renishaw激光幹涉儀進行精密光學對準。這樣可以確保準確掃描每個晶片,並確保捕獲的圖像相對於整個晶片陣列中的數據點正確定向。雙波長激光器在缺陷檢測和分析中也保證了最小誤差和最大化精度。3L機器利用最新的模式識別軟件,允許工具檢測晶圓模式的細微變化。此外,它還可以檢測各種缺陷,包括劃痕、凹坑、空隙和顆粒。該資產還提供了廣泛的圖像分析工具,允許用戶執行關鍵缺陷檢測和分析任務。BROOKS AUTOMATION 3L模型利用先進的邊緣檢測算法精確檢測邊緣,圖像處理算法生成晶圓圖樣的超高分辨率圖像。一個獨特的軟件算法使設備能夠檢測缺陷,如粒子和空隙,即使在復雜的晶圓模式。除了先進的成像能力外,系統還包括一套先進的數據分析工具。該套件允許用戶檢測和分析各種類型的缺陷,並分析過程變化。該股還提供了一個全面的存檔數據數據庫,使用戶能夠快速準確地識別和評估潛在的流程變化。簡而言之,3L是一種設計用於半導體制造環境的高性能晶圓和掩模檢測機。該工具具有先進的光學對準技術、模式識別、圖像處理能力、缺陷檢測和分析算法以及存檔數據的綜合數據庫。因此,資產提供了高度準確和可靠的結果,使用戶能夠快速識別和解決潛在的流程變化。
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