二手 BROOKS AUTOMATION BL-200 #9079943 待售

BROOKS AUTOMATION BL-200是提供單模和多模檢測功能的下一代掩模和晶圓檢測設備。該自動檢查系統非常適合半導體制造操作的掩模和晶圓階段的初始設置、設計驗證和過程參考檢查。該單元具有高度敏感的2D檢測原理，使用多線激光傳感器檢測甚至最小的粒子或缺陷。這些激光器安裝在設備的前部和後部,以提供從上到下的覆蓋。可以在機器上增加一個額外的LED光源，以改善對非光學缺陷的檢測，例如劃痕和其他疲勞特征。該工具還配備了多種功能,以方便資產設置和操作,包括用戶友好的觸摸屏界面、自動模型校準功能以及通過基於Web的GUI的遠程操作功能。此GUI允許輕松訪問基本設備信息,例如檢查結果、輸入和設置。BL-200系統可以安裝在任何方向和任何表面上。一系列兼容的真空和端口格式確保了完美的配合，使設備能夠在不同的檢查站之間快速移動。機器由強大的圖像處理引擎提供動力，使其能夠在一次掃描中準確快速地檢查多個模具。它可以識別一系列缺陷，包括表面汙染物、毛刺和劃痕。它還可以檢測針腳缺陷和邊緣像差，以及電子缺陷，如短褲和打開。除了核心檢查能力外，BROOKS AUTOMATION BL-200工具還提供高級缺陷分析，使其能夠查明和分類復雜的缺陷；集成光學散射分析模塊,可快速識別特定模具上的孤立或聚類缺陷；以及「模式匹配」功能,用於檢測和測量已知的模式或線條。BL-200掩模和晶圓檢測資產結合了先進的特性和可靠的性能,非常適合滿足當今半導體制造商的需求。它提供最大速度、最佳精度和一致的性能,以確保產品質量達到最高水平。