二手 BRUKER InSight 3D-DR #9293797 待售
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BRUKER InSight 3D-DR是一種面罩和晶圓檢查設備,設計用於集成電路的串聯、無損3 D分析。它利用光學和X射線相結合的方法來測量半導體圖樣或樣品的尺寸、地形和缺陷參數,精度約為0.6 µm。該系統能夠對面罩、晶片和印刷電路板等廣泛的樣品進行單、雙晶片檢查。其基於光學的掃描技術具有高靈敏度和準確度檢測缺陷的能力,即使特征密度極高。它還提供關於側壁角和晶體管電流泄漏的全面反饋,使制造商和工程師能夠放心地工作。InSight 3D-DR具有強大的用戶界面,允許快速、輕松的設置和儀器控制。通過一系列掃描選項,用戶可以根據自己的需求選擇合適的參數來測量對象。這可以包括特征尺寸、平面角度、底切、表面粗糙度等的測量。該單元還具有針對不同類型樣品自動優化成像參數和缺陷檢測的功能,以減少誤報。在成像方面,機器利用了一系列的高分辨率固態數碼相機來檢查甚至最復雜的圖案。它還可以通過動態HDR成像實現,以高對比度和無與倫比的分辨率捕獲圖像。數據寫入可以在本地或遠程訪問的內部硬盤驅動器。用戶可以快速輕松地導出圖像或數據。該工具還允許訪問幾種常用的文件格式,包括DXF和PDF,以確保與現有系統的兼容性。總之,BRUKER InSight 3D-DR是一種先進、通用的掩碼和晶圓檢測解決方案,可提供無與倫比的精度、快速的圖像采集和自動化優化。它能夠同時檢查單晶片和雙晶片,這使其成為需要快速周轉和準確結果的大型項目的理想選擇。
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