二手 CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #293778366 待售

ID: 293778366
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Optical review system, 12" 2004 vintage.
CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300是一款多功能、功能齊全的掩模和晶圓檢測設備,旨在滿足半導體制造的需求。該系統采用高分辨率500萬像素CCD成像傳感器,靈敏度足以檢測到非常小的缺陷。檢查可配置為檢測掩碼缺陷、晶片缺陷和互連缺陷。該單元由用戶友好的基於Windows的軟件包控制。這不僅允許方便的配置和檢查設置,還提供了廣泛的圖像後處理和分析功能。該軟件可用於生成各種對比度和邊緣強調圖,以便更好地評估掩模或晶片的狀況,以及統計信息。該軟件還可用於自動檢測缺陷並生成點對點叠加以進行進一步分析。HSEB Axiospect 300的一個獨特特點是高壓掃描單元,它能夠檢測制造工藝問題和基板上的顆粒汙染。高壓掃描為諸如厚電介質、基板橫截面和大面積電路等基板提供了極好的缺陷覆蓋,而傳統成像方法無法檢測到。對於晶圓檢測,CARL ZEISS Axiospect 300可以檢測點蝕和邊緣缺陷。該機還提供對比度增強、反射率測量和臨界尺寸(CD)分析等多種功能。集成強大的晶圓檢測工具也可用於驗證厚度測量、識別線切和圖樣偏移以及診斷基板上的潛在問題。Axiospect 300旨在滿足研究和生產環境的要求。光學器件剛性、高質量,為各種應用提供了廣泛的放大倍率。該資產可以輕松配置,以適應高容量和低容量的生產。CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300強大的成像和分析功能可實現高吞吐量,並提供高水平的質量控制。該型號符合ISO 9000-2015質量標準,有助於確保產品的高可靠性。
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