二手 CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #9397354 待售

CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300
ID: 9397354
Optical review system.
CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300是一種精密的掩模和晶片檢測設備,旨在檢測掩模和晶片制造的生產和包裝階段的缺陷。該系統采用自上而下和自下而上的檢測方法,最大限度地提高缺陷檢測的精度,並具有高達300 nm的缺陷分辨率。HSEB Axiospect 300的獨特設計無縫地適應了實驗室規模和大批量生產運行。這是一個熟練的構造與optomechanical負載端口和電梯不對準和基板平整度(+/-2 μ m)校正能力。這一突破性單元已被證明即使在最具挑戰性的環境中也是堅固的,對於200毫米和300毫米晶圓都是如此。CARL ZEISS Axiospect 300利用高性能光學。它具有450視場(FOV)鏡頭機優化信噪比,精密計量和缺陷檢測的5軸級,以及允許自動缺陷分類的數字信號處理(DSP)工具。Axiospect 300具有專門的計量版本,用於掩模和晶片面板的高級檢查和維修。它具有「教與學」自動聚焦資產,可減少手動調整所需的時間,並提高檢查的準確性。其「Live Preview」功能進一步增強了精確對齊,並有助於快速識別缺陷。此外,模型還采用了自動缺陷修復工具,以高效的方式消除定義的缺陷。這種設備可以自動修復幾乎任何類型的缺陷,這要歸功於它強大的圖像分析算法優化晶圓檢查。此外,CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300還對整個半導體晶片進行了檢查,並使用與ASML和電子束光刻系統協調一致的高級軟件構建。HSEB Axiospect 300為用戶提供了一個完整的、增強的成像解決方案,可幫助在掩模和晶圓制造的各個生產和計量階段快速準確地檢測和修復缺陷。CARL ZEISS Axiospect 300以其卓越的功能集,是全球口罩、晶圓制造和生產工廠的理想選擇。
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