二手 CMS UTR 65 #9250624 待售

CMS UTR 65是一種機器人掩模和晶片檢測設備，設計用於提供高分辨率的原位成像和對掩模和晶片基板的檢測。這是利用專有的掃描電子顯微鏡（SEM）平臺完成的。該系統配備了9軸定位機構，可對焦點和傾斜進行精確微調，並能夠掃描各種面罩和晶片。此外,設備還配備了高分辨率攝像頭,使用戶能夠在各種照明條件下進行分析和檢查,同時提供樣品的不間斷視圖。UTR 65集成了高性能、自動化的光束掃描機，提供了對掩模基板上特征的精確定位。利用光束自動掃描和測量功能，用戶可以快速分析和檢查面罩上的特征，以確保準確性。使用集成攝像頭,用戶可以輕松地將預期功能與實際功能進行比較,並可以在將掩碼移至下一個進程之前識別錯誤。為了最大限度地提高檢測結果的準確性和可靠性，CMS UTR 65集成了激光輔助自動對焦功能。這一技術先進的功能提供了自動聚焦功能,使工具在掃描每個掩碼時能夠快速實現最佳聚焦。激光輔助聚焦還確保被測量的實際特征被精確聚焦，並呈現出最可靠和可重復的結果。UTR 65設計方便操作使用。資產不僅提供直觀的圖形用戶界面和可定制的顯示,而且還包括用於自動處理的內置作業隊列。此優化的工作流程允許用戶快速分析和檢查單個作業隊列中的多種類型的掩碼。通過作業隊列,模型可以存儲所有掩碼信息,包括制造、放置和零件編號,以便於召回。綜上所述，CMS UTR 65是一種能夠提供高分辨率成像和可靠檢驗結果的自動掩模和晶圓檢測設備。該系統旨在簡化掩碼和晶圓工作流程,同時提供易於使用的圖形用戶界面和自動作業處理功能。利用集成的激光輔助對焦，UTR 65每次都能保證最佳對焦和精度，產生準確、可重復的檢測結果。