二手 CORNING / TROPEL Flatmaster #9227960 待售
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已售出
ID: 9227960
Wafer measurement system
Type: 128892-4280 WIN
Includes:
Main body
Computer body
Monitor
Keyboard
Mouse
Printer
Vacuum pump
(6) Chucks
Power requirement: 380 V, 2 Phase, 1 kW.
CORNING/TROPEL Flatmaster是一種在半導體制造過程中提供口罩和晶片高速非接觸式光學檢查的口罩和晶片檢測設備。該系統先進的光學和成像技術即使在1微米特征大小的水平上也能實現晶圓特征檢測,從而實現高精度、可靠和可重復的結果。該設備具有高速掃描功能,能夠快速檢測缺陷。TROPEL Flatmaster結合了一系列先進的功能和技術,可以快速準確地進行檢查。機器的核心是包含微透鏡、動態模式識別(DPR)和集成芯片ID技術的4通道檢測頭。這種4通道的方法允許對每個芯片50-150個缺陷進行多級檢查和同時測量。該工具還具有計算機控制的變焦和自動對焦功能,以最大限度地提高精度。最先進的浸入式光頭使資產能夠檢查晶圓上的困難區域,即使是常規機械技術也難以進入。該模型還具有用於自動氣候控制的集成環境室。穩定的環境使圖像中的噪聲信號最小化,並允許根據需要通過激光和機械校準獲得一致的結果。該設備還采用開放式體系結構進行設計,以便集成多個供應商提供的自動晶圓處理系統。CORNING Flatmaster旨在提供高分辨率和可重復結果,同時滿足快速周轉要求。系統可以掃描100-1700毫米晶圓,並將長達25毫米的範圍穿透到掩模中檢測缺陷。該單元易於使用,輸出可用作自動缺陷分類器、CAD集成掃描儀或進一步分析的輸入。Flatmaster是一種用於半導體制造行業的可靠、精確的掩模和晶圓檢測機.
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