二手 CYBEROPTICS Cobra #173485 待售

CYBEROPTICS眼鏡蛇是為半導體制造應用而設計的掩模和晶圓檢測設備。它為詳細的計量、成像和膠片測量提供了高吞吐量和精確度的組合。利用最新技術，眼鏡蛇能夠進行選擇性區域照明和激光驅動成像，使其能夠進行高分辨率成像、薄膜厚度測量和模模叠加測量，精度和可靠性都很高。對於成像應用，CYBEROPTICS Cobra配備了2048 × 2048像素成像陣列，具有標準的26倍光學放大倍率。該系統包括一個電動運動階段，允許成像單元在x軸、y軸和晶圓周圍移動。此外，眼鏡蛇還支持多種照明技術，如激光驅動成像、暗場和亮場拓撲圖像捕獲。對於計量應用，CYBEROPTICS眼鏡蛇配備了高分辨率位移傳感器和多種自校準測量軟件，以精確測量叠加、線寬、線緣粗糙度和臨界尺寸變化。此外,該機器還支持用於比色測量的帶通和多渠道光學濾波器,以及高級表面等離子體共振（SPR）分析,以提供額外的表面分析功能。對於膠片測量應用，眼鏡蛇配備了用於膠片厚度測量的光學反射計。該工具可以使用集成在資產中的光譜儀精確測量來自晶圓表面的反射。這允許對薄膜類型、薄膜厚度和層覆蓋率進行高通量測量,以及自動進行薄膜測量和平坦度/粗糙度表征。總體而言，CYBEROPTICS眼鏡蛇提供了一個全面和集成的模型，用於掩模和晶圓的檢查和表征。該設備具有高分辨率成像、精密計量能力和精確的薄膜測量,是任何半導體制造工藝的寶貴補充。此外，先進的軟件和電動運動階段允許高吞吐量和高效晶圓檢查，使眼鏡蛇成為半導體制造商的絕佳選擇。