二手 CYBEROPTICS LSM 300 #9008344 待售
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CYBEROPTICS LSM 300是一種自動化的掩模和晶圓檢查設備,旨在幫助半導體制造商快速檢測其產品上的缺陷。該系統提供了一個完整的解決方案,可以快速高效地識別和分析基板上的特征,包括掩模、晶片和引線框架。該單元允許使用激光幹涉和光學計量進行全面的自動檢查。為了確保在整個檢查過程中收集到正確的信息,LSM 300采用了獨特的圖像處理算法。該算法識別掩模中的規則重復結構,並補償基板引入的不準確性。該算法還有效地識別出否則無法檢測到的低調特征。CYBEROPTICS LSM 300提供了對每個掩模和晶圓的全面檢查。這臺機器能夠容納各種尺寸可達450毫米的基板。此外,紫外線和可見光源用於檢查基板的頂部和底部表面。此外,該機與廣泛的基板兼容,包括石英、矽和金屬基板。LSM 300還具有可靠高效的攝像頭工具,可提供高分辨率成像和精確測量。此資產能夠以每秒600幀的速度捕獲和記錄圖像。相機型號配備了五種不同的濾鏡,使其能夠捕捉到各種顏色和大小的光。這樣就可以對弱光特性進行精確成像。CYBEROPTICS LSM 300專為滿足制造商最苛刻的要求而設計,能夠分析復雜的缺陷,否則這些缺陷將被忽略。它可以檢測和區分表面和地下缺陷以及斜面、凹坑和突出特征。此外,設備還配備了自動對焦功能,使操作員可以在基板上的任何位置聚焦。綜上所述,LSM 300是一種先進的掩模和晶圓檢測系統,旨在發現和分析基板上的缺陷。該裝置擁有一臺強大的照相機,能夠進行高分辨率的成像和精確的測量。它還使用獨特的圖像處理算法來識別掩碼中的規則重復結構並補償任何不準確之處。通過使用CYBEROPTICS LSM 300,制造商可以快速檢測缺陷並確保產品質量。
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