二手 DCG SYSTEMS / CREDENCE EmiScope III #9117179 待售
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已售出
ID: 9117179
晶圓大小: 8"
優質的: 2007
Time-resolved photon emission system, 8"
ATE Direct dock capability
IR Imaging with high speed, high resolution InGaAs camera
Standard IR photon counting detector/DAQ electronics jitter (FWHM): 75ps, noise rate: < 15kHz
High accuracy apertures for spatial isolation of transistors
System/SW Control
PC Based System Control, Windows XP OS
Newport XYZ Stages
OUT Air Cooling
Fluid spray cooling compatible factory or field upgrade option
Laser scanning microscope compatible factory or field upgrade option
Standard system power: 120 VAC, 60Hz, 15A
2007 vintage.
DCG SYSTEMS/CREDENCE EmiScope III是一款先進的半導體掩模和晶圓缺陷檢測設備。該系統旨在發現半導體制造工藝和矽晶片表面上使用的光掩模缺陷。它使用創新技術對最復雜的半導體掩模設計進行快速掃描速率的高分辨率檢查。CREDENCE EmiScope III單元利用鏡頭技術和光學成像系統的最新發展,在掩模和晶圓缺陷檢測方面實現了出色的圖像清晰度和準確性。它具有高性能的數字線掃描相機和超大視野,為高分辨率掩碼和晶圓缺陷檢測提供了詳細的廣域覆蓋。該機還結合了5度柔性傾斜平臺、高變焦範圍和伺服電機控制等微檢應用。DCG SYSTEMS EmiScope III通過在短時間內自動檢測缺陷,消除了手動檢查的需要。該工具配備了KLA先進的缺陷檢測算法,提供了對掩模模式、測試結構和表面安裝組件的快速、準確的分類。它以綜合摘要報告的形式生成結果,使用戶能夠輕松地識別和測量缺陷。此外,EmiScope III資產的交互式軟件套件允許用戶快速修改檢查參數,實時查看缺陷結果。它有助於調整和聚焦操作,以確保最大的圖像質量。該模型還提供自動快門控制,以減少不希望的曝光和電磁幹擾(EMI)的敏感性。DCG SYSTEMS/CREDENCE EmiScope III旨在在掩模和晶片缺陷檢測中提供卓越的性能和準確性。該設備在各種半導體掩模設計和復雜的矽晶片表面上提供了快速的缺陷發現。其先進的光學成像技術和缺陷檢測算法使其成為工藝改進和質量保證的理想選擇。
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