二手 DEXON CLL 6436 #108363 待售

DEXON CLL 6436
ID: 108363
Reticle work station with HEPA filter.
DEXON CLL 6436是為半導體工業設計的掩模晶圓檢測設備。它提供高分辨率的成像和靈活的工作流能力,以便快速準確地檢測各種晶圓和掩模基板上的缺陷。該系統配備了健壯的64通道線性激光(CLL)光源,提供激光輸出強度的動態調制以及成像和激光檢測模式之間的快速切換。這樣可以確保最佳的樣品照明,以實現最高質量的成像和激光誘導的缺陷檢測,以滿足最具挑戰性的過程控制要求。CLL 6436還配備了高靈敏度、定焦科學級電荷耦合器件(CCD)成像單元。它采用2/3英寸彩色漸進CCD陣列,可提供高達1 um像素大小的高分辨率成像。該相機能夠同時捕捉圖像質量信息和快速獲取快速晶片分析任務所需的數據。該機器的設計能夠對所有表面拓撲進行全面檢查,使缺陷、空隙、粒子和其他故障得以快速識別,進一步簡化了真空濾波器。它的5軸電動XY級工具可以快速、準確地掃描蒙版,以實現有效的快門時間和蒙版對準。其強大的軟件支持各種配方構建功能和數據導出功能。獨特的DEXON Analytical Toolkit包括彩色像素閾值和圖像過濾,它提供自動圖像分析功能,可以刪除所有不必要的細節、背景和噪音,同時保留圖像中感興趣的特征。總體而言,DEXON CLL 6436是一種創新的掩模和晶圓檢查資產,設計用於最具挑戰性的檢查任務。高分辨率成像能力和智能軟件使其成為檢測和解釋各種掩模和晶片基板缺陷的理想模型。
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