二手 DIRECT OPTICAL ZX-1 Mini #127986 待售
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單擊可縮放
ID: 127986
Zoom interferometer
Specifications:
Bare fiber holder chuck with X/Y/Z and tilt micrometers
Radius of curvature:
Reproducibility: 1 sigma: 0.25%
Repeatability: 1 sigma: 0.10%
Apex offset:
Reproducibility: 1 sigma: 2.0µm
Repeatability: 1 sigma: 0.5µm
Fiber height:
Reproducibility: 1 sigma: 1.5 nm
Repeatability: 1 sigma: 1.0 nm
Radius of curvature: 3mm Flat
Apex offset:
0-500µm (value calculated if outside of captured frame)
Fiber height: ± 6µm (with extended range option)
MICHELSON Interferometer (non-contact system)
Measurement Speed: less than 1 second
Magnification:
X85 to X550 using 12" monitor
X60 to X400 using a 15" XGA monitor and the digital zoom turned off
Operating wavelengths: 665nm (545nm with extended range)
Power requirements: 100 to 120V AC, 50 / 60Hz.
DIRECT OPTICAL ZX-1 Mini是用於半導體制造的精密光學掩模和晶圓檢測設備。該系統采用最先進的技術構建,旨在通過分析所檢查的掩模或晶片的形狀和拓撲來提供高度精確的測量。高靈敏度設備采用了最新的光學技術,具有獨特的漂移穩定照明設備,可確保最大的圖像質量和準確性。投影線型由刀具的雙通道線檢測方法解決,確保了設備輪廓的極精確測量。該設備具有低噪聲成像和數字邊緣增強功能,可以方便地檢測到人工制品和其他缺陷。在光學設計方面,該模型利用安裝在可旋轉平臺上的雙柱物鏡,提供了廣泛的放大倍數。兩列透鏡的組合使設備能夠高精度地檢查微結構設備表面地形,並為檢測低對比度缺陷提供必要的精度。此外,該系統采用雙場成像對準方法,對被檢查的設備進行快速準確的定心。ZX-1 Mini單元旨在提供可重復的結果,使其成為Vertex在易於使用、準確性和可重復測量方面最可靠的機器。其直觀的用戶界面可以方便操作,靈活的軟件包可以實現自動化操作和測量。該工具可搭配多種口罩使用,包括鉻、碳、石英、不銹鋼和銀。此外,該資產與許多晶圓兼容,包括矽和砷化氙等。該型號也是緊湊和輕巧,使其高度便攜式和理想的在任何實驗室或在公司地板上使用。總體而言,DIRECT OPTICAL ZX-1 Mini是一種可靠的掩模和晶圓檢測設備,提供卓越的精度、靈敏度和可重復性。其高性能光學和先進的軟件使其成為半導體行業的寶貴工具。
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