二手 ECOPIA HMS-5000 #9248771 待售

ECOPIA HMS-5000是一種新一代的掩模和晶片檢測設備,其設計目的是對掩模和晶片進行高精度測量,以進行高質量的設備制造。該系統具有廣域雙目視覺單元、激光/光學傳感器以及最新的多傳感器檢測技術，以最高精度執行測量和檢測任務。雙目視覺機由兩個物鏡組成，其視場覆蓋了大面積的樣品底物。激光傳感器從一個8軸掃描頭發出光，反射光被安裝在結構站上的四個光傳感器檢測到。這允許檢測基板表面上發生的任何變形和不規則性。激光/光學傳感器以高精度測量基板中任何缺陷的形狀和大小，多傳感器檢測技術通過對基板的物理參數提供更精確的分析，進一步增強了檢測工具。先進的光學測量資產可以測量廣泛的樣品，包括不透明和非透明的掩模和晶片。它不僅可以檢測到表面瑕疵，還可以測量線條的寬度和厚度、圖案的邊緣位置、缺陷的面積和形狀，以及反磨晶片的表面均勻性。這有助於確保最高質量的設備制造過程。自動檢查模型還使用戶能夠在用戶友好的圖形用戶界面（GUI）中存儲和召回多個基板的檢查數據。這在分析大量樣品時特別有用。此外,用戶可以輕松比較不同的檢查數據集以進行模式匹配,還可以為各種應用程序設置自定義參數。這些特性使HMS-5000成為功能強大但用途廣泛的檢查設備。綜上所述，ECOPIA HMS-5000是一個先進的掩模和晶圓檢測系統，為用戶提供高精度的測量高質量的設備制造。其多傳感器檢測技術、廣域雙目視覺單元和激光/光學傳感器使其成為檢測各種基板表面缺陷的理想機器。此外,其直觀的GUI和可定制的功能使其成為自動檢查的功能強大且用途廣泛的工具。