二手 ELICON EMA 3540 #106694 待售

ELICON EMA 3540是用於半導體器件生產的全自動掩模和晶圓檢測設備。該系統旨在快速準確地檢測生產過程中IC掩模和晶片上的缺陷。該單元利用先進的光學系統和高分辨率成像能力，成功檢測和顯示各種缺陷。EMA 3540基本上由光學基板分析儀（OSA）和軟件評估機（SES）組成。OSA加熱和壓平晶片或掩模進行檢查，用保護板覆蓋基板，然後將低強度的激光束引導到基板上。當激光束從基板反射出來時，它被OMA先進的光學系統監控。OMA能夠檢測到各種缺陷，如粒子、針孔、粒子簇，以及傳統方法更難以檢測到的其他缺陷。一旦OMA識別出缺陷,它就會被處理並顯示在SES上。該集成軟件旨在幫助用戶快速準確地解釋數據。SES軟件能夠快速準確地識別被檢測基板上感興趣的區域，對缺陷進行分類，並為用戶創建檢測報告。此外,如果需要,用戶可以對掩碼或晶片進行必要的更正。ELICON EMA 3540還具有高度可定制性,能夠滿足各種檢查要求。例如，OMA可以同時用於檢查多個基板，而SES能夠分析和顯示大量基板的信息。此外,用戶可以定制工具以滿足其特定的檢查要求,從而能夠快速、準確地以高度的精度和可靠性檢查晶片。EMA 3540是尋求優化運營和提高成品質量的制造商的理想解決方案。ELICON EMA 3540配備先進的光學系統、高分辨率成像功能和可定制選項,可提供快速、準確的掩模和晶圓檢查功能,幫助制造商減少缺陷並提高整體工藝效率。