二手 ESI / MICROVISION 3900 #9255782 待售

ESI/MICROVISION 3900是由ESI設計的用於制造微電子元件，如集成電路（IC）的掩模和晶圓檢驗設備。這種先進的光刻系統結合了掃描電子顯微鏡（SEM）技術和自動模式識別，能夠檢查光掩模和抵抗圖樣晶片的線寬（臨界尺寸或CD）和圖樣完整性。該單元的用戶友好圖形用戶界面（GUI）有助於高效操作和數據采集。它實現手動和自動操作,允許用戶為其特定應用程序配置檢查模式和參數。檢查參數既包括要檢查的晶片區域（如有源器件區域，或ADA），也包括要檢查的電路元件（如線段和通氣）。使用ESI 3900可以獲得高分辨率圖像,從而可以精確檢測和測量缺陷。它配備的電子束電流為0.5 nA至10 nA，分辨率為0.2 μ m。此外,可可靠地識別線寬高達0.3 μ m的圖樣。它由Windows XP Professional操作機器提供動力,用於可靠的刀具控制。除了基本的檢查和測量功能外，資產還提供了為更復雜的模式定義用戶定義的檢查規則的能力。輸入數據可以直接從IC布局或CAD繪圖中獲取,也可以與現有的檢查庫連接。檢查結果以行業標準格式報告,如有必要,可對測量數據進行統計分析,以檢測表明過程失敗的任何模式或趨勢。MICROVISION 3900旨在為微電子元件提供快速、徹底、準確和可靠的掩模和晶圓檢查。其強大的功能、高分辨率、擴展的功能集和易用性使其非常適合需要質量控制和對制造零件進行深入分析的各種行業。