二手 ESI / MICROVISION MV 853 #9104086 待售

ESI/MICROVISION MV 853掩模和晶片檢測設備是一種加速器驅動的綜合檢測和計量工具，用於對光掩模和晶片進行高度精確的測量。結合ESI MV系列的領先性能和優越的粒子動力學，該系統為半導體行業提供了一個完整的解決方案，以滿足精密的掩模和晶圓檢測系統的要求。ESI MV 853是一個全自動單元,能夠以前所未有的速度和精度檢查和測量各種掩模和晶圓幾何形狀。它提供了當今最高分辨率的成像,並配備了幾種精確的測量工具,如布局比較（LQV）、叠加測量（OVM）、光譜反射率和波長相關測量（WMD）,以及可靠的缺陷檢測模塊（DDM）,用於定位線邊上的宏缺陷和未知的缺陷。該機專有的高吞吐量數據采集技術利用了尖端加速器和鏡像,實現了卓越的速度和吞吐量。它提供高達60dB的動態範圍,並在DIWNAE（深層隔離寬噪聲和邊緣效果）模式下測量低至5.1nm的特征大小。此外，增強信號能力使工具能夠更好地區分缺陷和非缺陷，同時提供更高的測量精度和檢測精度。MICROVISION MV 853的其他特性包括Auto Focus、Pattern Shooting、Field of View Finder、Intermediate Focus、Dynamic Focus、Resolution Range Extender。「自動聚焦」功能會自動引導用戶根據晶圓/蒙版深度進行最佳聚焦設置。「陣列拍攝」功能可捕獲蒙版上預定義的陣列或感興趣的矩形區域的圖像。視場查找器（Field of View Finder） （FOVF）允許用戶以各種方向和放大倍數獲取多個圖像。Intermediate Focus功能可快速掃描整個晶片以找到最佳焦點設置。動態焦點可用於快速找到感興趣的領域或領域的最佳焦點設置。最後,「分辨率範圍擴展器」允許用戶測量衍射受限光學器件無法實現的次要特征。MV 853是一種綜合性的掩模和晶片檢查資產,旨在提供高精度的測量,並具有最佳的吞吐量和精度,可用於各種掩模或晶片幾何形狀。此模型提供一流的成像分辨率、動態範圍、增強的信號能力以及其他幾種精確的計量工具,以滿足最復雜的掩模和晶圓檢測設備要求。