二手 ESI / MICROVISION MVT 7080 #293626852 待售

ID: 293626852
Wafer inspection station.
ESI/MICROVISION MVT 7080是為半導體工業設計的頂級掩模及晶圓檢測設備。該系統對小至150納米的圖樣提供精確、高分辨率的成像,既提供高質量的圖像,又提供精確的測量,用於手動檢查和審查或自動發現問題。ESI MVT 7080采用先進、最先進的算法,允許用戶捕獲各種大小和形狀的清晰圖像,如線條和圓圈。圖像使用高精度估計器和檢查器進行處理,從而產生可靠的定量信息。此信息隨後可用於檢測處理錯誤和驗證電路上的特征位置。該單元包括兩個主要組件:掩模檢查模塊(MIM)和晶圓檢查模塊(WIM)。MIM以0.6 μ m的最大分辨率和高達32 mm的景深執行掩碼檢查。使用先進的CCD數字成像和專利算法使機器能夠識別和量化成像缺陷,即使在復雜的掩碼布局中也是如此。WIM允許從200 mm的最大晶圓尺寸進行精確檢查。利用最新的晶圓檢測自動缺陷檢測器(ADDI),WIM能夠檢測和測量表面缺陷、圖樣缺陷和薄膜缺陷,測量精度小於30納米。這種高度自動化的工具進一步提供了用於缺陷分類和缺陷調整大小的高級算法,從而可以更快、更準確地執行質量控制。最後,該資產具有高度模塊化和可擴展性,允許用戶輕松執行復雜的多階段檢查。加上可選的基板級或大納米探針站,MICROVISION MVT 7080可用於檢查多種材料,包括大基板甚至納米級結構。MVT 7080是尋求可靠、精確的掩模和晶圓檢測模型的半導體專業人士的絕佳選擇。此設備提供極高分辨率的成像、高效的數據處理、自動缺陷檢測和高級缺陷分類,使質量控制專業人員能夠快速準確地檢測和解決制造問題。
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