二手 ESTEK / ADE AWIS #9037134 待售

ESTEK/ADE AWIS是一種綜合性的自動化晶片和掩模檢驗設備，旨在最大限度地提高晶片和掩模制造商的生產效率和準確性。該系統為各種自動檢查和缺陷分析提供了高效、經濟高效的解決方案。ADE AWIS是一個精密儀器單元，融合了強大的光學和成像能力以及先進的工藝控制。它利用8「晶片級用於晶片直徑最大為8」，並使用掩模級用於掩模最大為254mm X 355mm。光學包括顯微鏡數字變焦功能和各種類型的照明，包括UV、背光、光學濾光片以及專門的暗場和暗邊技術。檢測機使用先進的成像和比較技術來識別和分類單個圖像上的缺陷或裸機或蒙面矽片的多個圖像。使用的軟件允許全自動缺陷審查過程（包括實時監視）,每個缺陷最多可存儲8個圖像。該工具具有高度的定制功能,允許針對特定客戶需求設計量身定制的程序。該資產可以分析晶片結構和掩模膜,其尺寸可降至0.3-0.4微米.可檢查的典型缺陷有碎裂、劃痕、異物、橡膠顆粒、尖刺缺陷、顆粒簇、抗渣等。該模型還包括一個玻色子集成激光器，以檢測和測量抵抗模式的間距。設備配備了基本的圖像診斷，如對比度控制、自動對焦、亮度控制、顏色反轉以及一系列色彩校準功能。它還有一個自動直方圖生成器對缺陷進行分類，以及一個綜合缺陷分類表，以便更好地評估缺陷數據。總體而言，ESTEK AWIS是一種先進的數字晶片和掩模檢查系統，提供無與倫比的檢查能力、準確性和速度。它強大的功能和易用性使其成為晶圓和掩模制造商的重要工具,這些制造商需要減少缺陷並最大限度地提高產量。