二手 ESTEK / ADE CR-80 #293765745 待售
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ESTEK/ADE CR-80是一個組合的面罩和晶圓檢查設備,提供最先進的性能和準確性。它旨在滿足從一般例行檢查到精確的高級故障分析等各種面罩和晶圓檢測需求。該系統具有大型自動缺陷審查(ADR)和用於詳細電路分析的高分辨率光學成像工具。ADE CR-80利用精確的激光位移傳感器來提供檢測掩模和晶片表面缺陷的最高精度。它能夠檢測和測量針孔、隨機表面幾何特征和切割深度不足或加工殘留物造成的不連續等缺陷。檢查單位還查明細微的厚度變化、孤立的短褲和其他區域的蒙版或晶圓像差。此外,檢測機采用的強大算法可以自動驗證工藝層的完整性,確認缺陷的精確面積和程度。ESTEK CR-80的用戶友好軟件包使得處理掩模和晶圓的復雜檢測過程變得容易。信息學軟件包允許詳細的歸檔、報告和調度,用於掩碼和晶片檢查。這包括一個存檔,其中可以存儲檢查的所有結果以及有關已檢查掩碼或晶片的數據。它還允許從審閱監視器輕松導出數據到Microsoft Office程序和其他兼容軟件。CR-80具有可選的自動缺陷位移(ADD)功能。此選項允許直接從審閱監視器中自動分類和分離不同的缺陷類。通過無需手動查看檢測到的所有缺陷,這有助於提高吞吐量。該工具帶有一個集成真空卡盤,用於在檢查過程中牢固地固定口罩或晶片。在10mm的低垂直行進高度執行檢查,從而最大限度地提高吞吐量,並最大限度地減少掩模或晶片的任何位移。ESTEK/ADE CR-80是高精度掩模和晶圓檢測的理想選擇。它有助於確保最終產品的準確性和完整性,最大限度地減少成本高昂的重新處理和產品故障的可能性。
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