二手 ESTEK WIS-850 #293595284 待售

ESTEK WIS-850
ID: 293595284
Wafer defect inspection system.
ESTEK WIS-850是一種先進的基於視覺的掩模和晶片檢查設備,旨在為掩模和晶片圖像提供高性能檢查和審查能力。該系統結合高分辨率CCD攝像機技術和復雜的圖像處理算法,快速檢查和檢測微電子中使用的材料和結構的缺陷。WIS-850能夠檢查晶片和掩模上的納米級結構和特征。它可以識別線條圖案、特征大小、缺陷、薄膜厚度、光刻膠特征和CD非均勻性。該單元具有較高的聚焦深度,用於精確的3D圖像輪廓測量,可集成多場驗證,以確保檢測可靠性,減少屈服損失。該機采用獨特的檢測算法進行缺陷識別、圖像識別和模式匹配。它可以檢測到表面缺陷,包括針孔、由不良塗層和汙染物引起的親水性或疏水性缺陷,以及由氣隙引起的表面變形。它還具有一整套數據減少和顯示功能,以便進行可靠的數據驅動缺陷分析。該工具的統計質量控制(SQC)模塊允許用戶將測試結果與目標值進行比較,監視過程性能並生成實時報告,突出顯示產品質量與過程性能之間的相關性。該模塊還支持動態多參數測試和缺陷分類,以及放大鏡監控工具。ESTEK WIS-850還具有高精度晶片檢查功能,可以快速查看設備結構,而無需單獨的掩碼和晶片圖像。它也有一個自動化的粒子檢測和分類資產,可以識別顆粒大小,密度和形狀早期工具狀態監測。該模型還包括用於減少重復檢查的光束除塵器模塊,以及用於一維和二維模式的精確缺陷分類的高級光學檢查算法。WIS-850是一種功能強大的掩模和晶片檢查設備,由精密的硬件和軟件組件組成,有助於減少過程和質量控制損失。該系統強大的檢測和評審功能為用戶提供了改進的缺陷檢測、3D圖像輪廓測量的準確性、多參數測試、粒子檢測和分類以及光學檢測算法。
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