二手 HITACHI IS 2000 #9103910 待售

HITACHI IS 2000
ID: 9103910
晶圓大小: 8"
優質的: 1993
Pattern defect inspection system, 8" 1993 vintage.
HITACHI IS 2000掩模和晶片檢測設備是一種自動化的高通量掩模和單晶片檢測系統,它結合了卓越的設計和先進的掩模和晶片缺陷檢測能力。該單元力求為缺陷檢測提供最佳結果,同時最大限度地減少用戶幹預。這臺機器采用高能BSE/SE/Raman成像技術,利用高分辨率的10百萬像素(11,520 x 9,024像素)Peltier冷卻的50 mm CCD相機,以最小噪音水平制作高對比度圖像。該工具還包括先進的圖像處理和特征識別新算法,以改善缺陷檢測。分級分辨率為0.6um至0.5 μ m,邊界質心畸變<100 nm,背景和光學介電測量精度<1%。該資產還能夠測量最小值為0.1 μ m和精度為0.08 μ m的缺陷長度。除了優越的設計和缺陷檢測能力外,該車型還配備了強大的軟件,以確保人性化操作。該設備提供了一系列有用的功能,包括:自動缺陷分類、焦點控制、檢測模式生成、缺陷預防設置和缺陷圖管理。系統還能夠自動保存檢查結果。該軟件在Windows (7或更高版本)中運行,便於操作。IS 2000 Mask&Wafer Inspection Unit設計用於自動識別缺陷的過程,使其非常適合用於從高級過程控制到Mask或Wafer開發的應用。它的產品設計使用戶能夠靈活地檢查各種掩模和單個晶片,從而為掩模和晶片檢查提供了一個功能強大、經濟高效的解決方案。
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