二手 HITACHI IS 2500 #293657153 待售

HITACHI IS 2500
ID: 293657153
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
Wafer particle inspection system, 6" 1998 vintage.
HITACHI IS 2500是一款高端、高精度的掩模和晶圓檢測設備,提供完整的模式驗證和缺陷檢測解決方案。該系統利用了一個場內檢測單元,使其能夠達到納米級的精度。它設計用於執行傳統的光學檢查以及自動缺陷檢測,使用先進的算法和機器學習技術。機器利用其高端光學,結合其像差校正光學等專門光學,使其能夠進行模式識別和缺陷檢測。它獨特的鏡頭和鏡子組合使該工具能夠在廣泛的視角上生成超高分辨率圖像,以識別圖樣中的任何異常或缺陷。該資產具有先進的模式識別算法,使其能夠以高度的準確性快速識別任何缺陷。利用邊緣諧波、高頻判別器和互相關等特征比較技術,有效地確定了目標模式及其參考模式之間的差異。它能夠檢測局部和全局缺陷,包括電氣短路、斷路、間距違規和透支。該模型還具有高精度的叠加誤差測量設備,可確保最終晶片圖樣的精度。它利用在線和離線檢測技術來測量和糾正垂直和橫向叠加誤差。它減少了與配位不對齊和連續圖層之間的不匹配相關的測量誤差。最後,HITACHI IS-2500的軟件包包含了一個高級分析界面來監視和分析檢查結果。這包括視覺覆蓋、缺陷時間跟蹤以及對同一晶圓的多個設計和層的比較,從而允許高度精確的檢測和驗證結果。總體而言,IS 2500的綜合功能集和高精度使其成為尋找高級掩模和晶圓檢測系統的人的理想選擇。其專門的光學元件、模式識別算法和分析界面使其能夠提供高度準確的結果,確保每一個缺陷都能被識別和糾正。
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