二手 HITACHI IS 2700SE #9044470 待售
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ID: 9044470
Defect inspection system
Power : 200VAC, 60A, 3phase, 50/60Hz
Operation unit:
Upper & Lower Monitor
Keyboard & Joystick
System Computer
CP750A Video Printer
Main AC Power Box
Coherent Laser Box
Missing:
Dalsa Header and controller
Stage X-Y controller
Stage Z controller
Robot Assembly in loader unit
TDK TAS300 Load port, L/R
2001 vintage.
HITACHI IS 2700SE是一種專業級的掩模和晶圓檢測設備,可用於多種應用。該系統由控制臺、成像站和晶圓站組成。控制臺包含中央處理器、命令處理器和輔助支持設備。成像站包含一個漸進掃描CCD相機、偏轉和散光校正光學器件，以及一個裝有全自動晶片級的掩模站。晶片站裝有一個持晶片卡盤和一個8英寸開幀圖像傳感器。檢測過程旨在檢測晶片邊緣、膜和樣品掩模芯片填料的缺陷。包括色彩檢查、圖像增強、測量和集成缺陷分析等功能,從而可以更快、更準確地檢查口罩。CCD相機具有4K像素分辨率，提供高分辨率的樣本掩模圖像。相機的動態範圍允許以各種不同的亮度、對比度、顏色、圖案和分辨率級別觀看各種面膜。檢查機器還包括許多過濾器預設,允許用戶根據所檢查的示例掩碼選擇檢查設置。此外,該工具還包括多種算法,以方便進行精細缺陷檢測和自動缺陷分析。IS 2700SE資產是掩碼和晶圓檢驗的高效模型.它有一個軟件界面，可以方便地控制各種設備的功能。該系統能夠執行各種程序，大大加快了掩模檢查的進程。此外,CCD攝像頭、光學器件、濾鏡預設和自動缺陷分析算法等組件確保用戶能夠獲得準確可靠的檢查結果。
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