二手 HITACHI IS 2700SE #9083778 待售

HITACHI IS 2700SE
ID: 9083778
Defect inspection system.
HITACHI IS 2700SE是全球領先的面罩和晶圓檢測設備。它旨在幫助半導體和微電路制造商測量、檢測和提取掩模和晶圓圖樣的相關細節,以便進行有效的過程控制和優化。該系統主要由光源、攝像機子單元、成像機和叠加分析軟件四個部分組成。光源為紫外線(波長約365nm)放電燈,功率輸出大致500W。相機子工具負責捕捉並將光源輸出轉移到成像資產。成像模型由CCD攝像機和雙目顯微鏡兩個主要組成部分組成。顯微鏡能夠從CCD相機放大圖像,快速準確地檢測任何缺陷和缺陷。然後,叠加分析軟件從成像設備中獲取捕獲的圖像,以確定晶圓或掩模上的圖樣質量,並將其與預定義的標準進行比較。該系統可支持各種曲面形狀和掩碼,像素大小最大為8um。它可以處理高達0.1um的層厚度和2288 x 1712的圖像大小。其最大聚焦範圍為1.3mm,速度為每秒2.4幀,是高精度制造工藝的理想選擇。該單元包括一系列應用程序,以幫助用戶獲得最準確的結果。這些功能包括數據分析功能,允許用戶識別和分析晶圓或掩碼上的缺陷。此外,還可以使用精確設置功能使結果適應特定的客戶要求。該機還支持多種測量模式,如自動檢測、手動檢測、自動拓撲數據庫分析等。IS 2700SE工具還具有用戶友好的圖形用戶界面(GUI)。這使用戶能夠快速輕松地選擇和配置資產,以及處理參數以最好地滿足其要求。最後,該模型提供靈活的聯網功能,支持PCNT、TCP/IP和其他網絡等多種平臺。總而言之,HITACHI IS 2700SE設備是尋求有效測量、檢測和分析掩模和晶片缺陷的半導體和微電路制造商的理想解決方案。通過使用該系統,制造商可以受益於更少的工藝延遲、更好的產量質量和更低的成本,從而確保最高的制造準確性和卓越性能。
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