二手 HITACHI LA-3100 #293643481 待售

HITACHI LA-3100是由HITACHI開發的掩模和晶圓檢測設備。它是一個全自動的高通量系統，用於檢查半導體晶片、掩模和光掩模。該設備能夠同時檢查多個芯片,從而實現批量處理,從而提高吞吐量。LA-3100配備了具有雙曝光模式和三曝光模式的高精度圖像傳感器，在檢測和分析方面具有很高的準確性。該機還配備了自動晶圓進紙器（AFW）和多個圖像處理系統（MIP），使一次成像成為可能。它還配備了自動對齊器，能夠對晶片的所有6個側面進行成像和對齊。該工具采用了一種專有的激光誘導熒光成像（LIFI）方法，該方法允許無損成像，並從視野中消除粒子。該資產還配備了自動化修復模型，支持缺陷的實時修復，使設備更加準確，維修效率更高。該系統的圖像識別單元采用邊緣提取和孔洞檢測技術，在缺陷檢測和分析中具有較高的精度。此外,機器的成像軟件與MIP工具結合使用,處理高分辨率圖像和信號處理,如光學濾鏡,從而實現高速和高精度圖像分析。該資產還配備了實時圖像矢量分析模型，無需人工幹預即可提供對缺陷的高精度檢測。它還可以存儲圖像,提供存檔結果和查看缺陷歷史記錄的選項。HITACHI LA-3100是檢查半導體晶片、掩模和光掩模的理想解決方案。其高精度成像傳感器和自動對準，加上高速、高精度的圖像分析和自動缺陷修復，提供了卓越的精度和可靠性。該設備的實時圖像矢量分析系統使其比其他系統更具優勢，提高了缺陷檢測的準確性和效率。