二手 HITACHI LS 5000 #293811582 待售

HITACHI LS 5000 Mask&Wafer Inspection設備是一種專用的高精度檢測解決方案,利用光學成像和專有的Mask對準算法。它設計用於各種半導體應用的內聯和離線掩碼檢查，也可用於3D掩碼和晶圓檢查。HITACHI LS-5000采用多用途的五軸級,通過組合獨立軸實現快速復合晶片掃描和卓越的配準精度。兩個攝像頭同步提供高達45度的傾斜角，使其能夠進行3維檢查。兩個頭的鏡頭可以根據蒙版尺寸自動更換。該系統包括晶圓缺陷審查軟件,該軟件可累積、管理和執行缺陷分析。軟件與掩碼檢查過程協同運行，揭示缺陷並收集數據。此單元可用於自動缺陷審查和缺陷分類。Predictive Defect Finder （PDF）配備了一個復雜的算法，從圖像數據分析中識別模式並預測潛在的缺陷。該機器還有助於在實時基於AI的掩模缺陷審查的幫助下加快手動重新檢查。此外,它還通過自動掃描功能支持全自動操作,從而實現高效、一致的掩碼檢查操作。它還提供其他功能，如氣密檢測工具，以及內置的自動校準功能。資產也可以用CCD計量等二級系統來實現。而且它的用戶友好界面允許快速輕松地進行設置,從而提高了工作效率。LS 5000 Mask&Wafer Inspection模型是一種高度可靠且經濟高效的檢測機器,能夠滿足最嚴格的要求。其高精度的檢測能力以及全自動操作，使其成為大批量生產的理想解決方案。