二手 HITACHI LS 6000 #9026253 待售

HITACHI LS 6000是一種掩模和晶圓檢測設備。它旨在對面膜和晶片進行準確、有力和經濟高效的檢查。它提供了一套專門的技術，幫助識別和檢測小缺陷，然後準確測量和量化它們。LS 6000可確保快速、輕松地檢測和隔離缺陷。該系統配備了250X光學系統，利用白光掃描技術精確檢測缺陷。其照明成像單元結合了光學和軟件來檢測小至0.5微米（µm）的缺陷。還采用明場和暗場檢測，快速檢測具有不同不透明度特征的缺陷。其內置的運動和圖像處理功能是自動化和軟件驅動的,允許自動工作流。HITACHI LS 6000還具有快速精確的樣品裝載機，能夠裝載多達400個晶圓或掩模，最大裝載率為每小時60片。機器的自動對焦識別技術確保快速準確的對焦檢查，而其內置的曝光終端自動校正照明條件以獲得一致的結果。LS 6000上的其他功能還包括內置檢查和分類軟件、精確分辨率降至0.5 µm、可自定義缺陷閾值、各種圖像處理功能以及用戶友好界面。該工具還提供了一整套編程和報告工具,用於全面的缺陷審查、缺陷分析和產品設計反饋。HITACHI LS 6000掩模和晶圓檢測資產非常適合廣泛的應用，如半導體制造、平板顯示器生產、集成電路設計等。它能夠檢測廣泛的缺陷，包括非常小的缺陷。其自動化平臺提供快速缺陷檢測、用戶友好的操作和可靠的性能。它內置的編程和報告工具提供全面的缺陷審查和產品反饋。因此,LS 6000是一種功能強大且經濟高效的掩模和晶圓檢測模型。