二手 HITACHI LS 6500 #293643631 待售

HITACHI LS 6500
ID: 293643631
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Wafer surface inspection system, 8" 1997 vintage.
HITACHI LS 6500是一種大型的自動化掩模和晶圓檢測設備,可以快速準確地檢測出跨越多個基板的產品缺陷。系統利用先進的算法來檢測和分類缺陷,同時也允許用戶自定義自己的掃描計劃,以更好地分析特定的檢查區域。該單元旨在提供高檢測精度和檢測率,同時保持極其靈活和可定制,以滿足用戶的需求。該機由光學傳感工具、有源基板機構以及各種晶圓和掩模檢測階段組成。光學傳感設備可以檢測基板上的各種缺陷類型,並具有先進的成像技術以提高精度和速度。活性基板機構負責將基板從盒式磁帶運送到盒式磁帶,並在晶圓和掩模檢測階段之間轉移。晶圓檢測階段采用兩種不同的寬帶光學系統.第一個模型負責檢查整體地形和表面紋理。第二種設備用於模具級分析,包括先進的缺陷信號辨識和分析。最後,掩模檢查階段可以檢測到各種形式的掩模缺陷,包括部分填充的圖樣特征、缺失特征、空隙、錯位和設備級缺陷區域。HITACHI LS-6500的用戶界面包含廣泛的選項,並允許針對特定客戶需求定制各種功能。它幫助用戶設計掃描計劃並快速檢測新出現的缺陷。該系統還提供高度自動化,因為它可以快速配置掃描計劃並根據客戶規格調整設備設置。總之,LS 6500是一種高度先進的自動化掩模和晶片檢驗裝置,為用戶提供了一種可靠、高精度的晶片和掩模檢測方法。該機器旨在提供快速、精確的檢測率,同時允許用戶根據自己的特定需求定制工具。該資產易於使用,有助於自動化部分流程,從而節省用戶時間並提高準確性。
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