二手 HITACHI LS-6700 #9087166 待售

HITACHI LS-6700是為半導體工業開發的掩模和晶圓檢測設備。它能夠精確地測量晶片和掩模上低於納米尺度的缺陷。該系統由三個模塊化部件組成-一個光源單元、一個光學掃描單元和一個計算機單元。光源單元發出廣譜的光，然後通過分束器引導到光學掃描單元。光學掃描單元由高清相機、鏡頭和實時位置檢測單元組成。這些組件使掩模和晶片檢測機能夠以納米級精度捕獲晶片或掩模表面的高分辨率圖像。計算機單元由較大的內存容量和強大的處理能力組成，使其能夠快速處理成像數據。它還包括一個直觀的圖形用戶界面（GUI），允許用戶輕松快速地自定義蒙面&晶圓檢查過程。HITACHI LS 6700除了提供缺陷大小和位置的資訊外，還識別各種缺陷類型。這包括測量開放/短路、臺階高度、凹坑和其他低於納米尺度的表面缺陷。利用其內部算法，掩模和晶圓檢測工具的用戶可以快速識別和標記潛在缺陷。在可重復性和準確性方面，LS-6700是市場上最好的系統之一。它具有0.9%的出色可重復性，定位精度高達0.2納米。該資產也非常適合於多模片晶片檢測，能夠一次分析多達四個模具。總體而言，LS 6700是一種出色的掩模和晶圓檢測模型，能夠提供高精度的納米級分辨率成像。其模塊化設計使其靈活易用，而其強大的處理和可重復性功能則允許快速準確的缺陷檢測。