二手 HMI eScan 315 #9204651 待售
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ID: 9204651
E-Beam inspection system
(2) TDK TAS300 E4 Load ports
BROOKS AUTOMATION ABM407B-1-S-CE-S293 Robot
BROOKS AUTOMATION PRE-300BU-I-CE-S2 Pre-aligner
BROOKS AUTOMATION SC81-CE Controller
HMI System controller.
HMI eScan 315是一種由HMI制造的自動化晶片和掩模檢驗設備，設計用於有圖樣晶片和光掩模檢驗過程的經濟高效的解決方案。該系統由專有的PAT-FINDER圖像處理器提供支持,利用三通道彩色CCD攝像頭,每次掃描可精確捕獲多達143個晶圓或掩碼的圖像。這樣可以快速準確地檢查缺陷,確保生產技術始終可靠和有利可圖。EScan 315配備了高速彩色CCD相機和X、Y和Z運動舞臺，以確保產品在大面積上的可靠成像。首先使用彩色CCD技術掃描晶片，然後對圖像進行處理，以便進行詳細的圖樣檢查和比較。PAT-FINDER圖像處理器使用明暗場照明來最大化靈敏度，自動邊緣檢測算法為模式比較和量化提供了統一的基線。使用HMI eScan 315,用戶可以調整缺陷閾值,選擇要檢測的缺陷類型,並查看圖像掃描以準確確定缺陷原因。該單元還具有用戶定義的偵察功能,它提供了對檢查過程的附加控制級別。偵察功能使用戶能夠輕松地快速檢查各種產品缺陷。EScan 315采用了行業標準的安全功能和模塊化工程設計,為用戶提供了最大的靈活性和易維護性。模塊化維護允許快速、方便地訪問主要組件,從而減少了停機時間並節省了成本。HMI eScan 315還具有高級運動控制功能,包括多軸掃描和插值運動控制。EScan 315是晶圓和掩模檢查過程的一種經濟高效的工具，提供準確的缺陷檢測和缺陷修復。HMI eScan 315具有強大的技術、先進的運動控制功能和模塊化工程設計,是任何行業或研究機構的理想選擇。這臺機器提供了可靠和可重復的掃描,並提供了較小的維護和最小的停機時間,最終導致了更高的生產效率和更低的生產成本。
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