二手 HMI eScan 315 #9227591 待售

HMI eScan 315是一款具有先進技術的掩模和晶圓檢測設備，為用戶提供對掩模和晶圓圖樣的全面視覺和尺寸審查。EScan 315具有自動對準階段、固定遮罩階段、掃描階段以及基於可編程LED陣列的高強度照明系統。它配備了全方位的功能，提供準確的測量和高效的缺陷審查。自動對準階段利用壓電運動和圖像配準，在視場中實現掩模或晶片的關鍵全對準。高分辨率CMOS圖像傳感器提供最大分辨率高達26百萬像素的清晰圖像數據,確保了這些測量的準確性。固定蒙版舞臺設有專用的機動蒙版翻譯單元，可精確管理多個蒙版操作。它允許使用高度精確的自動圖像縫合功能快速檢查特征尺寸和形狀,以發現更高級別的缺陷。掃描階段配備了高級階段，提供卓越的X-Y平移和變速旋轉，真正的三維檢測能力。它為無與倫比的X-Y提供了精確的平臺，為掩模或晶圓特征尺寸和形狀提供了角度分辨率。高強度照明機設計為產生單波長或多波長的光，允許廣泛的檢查模式。它具有可編程LED陣列照明功能，其光譜功率密度經過優化，以獲得最佳檢測結果。HMI eScan 315的功能集進一步增加了一系列分析工具,旨在揭示和精確測量基礎結構,以便快速審查缺陷。這些工具包括RARE圖像銳化、錯誤的顏色映射、對比度改進和邊緣/線條分析。總體而言,eScan 315是用於自動掩碼和晶圓檢查的先進的最新工具。它配備了自動化對準、掃描、照明和分析的先進技術和功能，為用戶提供了實現高度準確的缺陷識別的能力。