二手 HOLOGENIX NGS 3500 #9137097 待售
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ID: 9137097
Advanced dimensional metrology and defect detection system, 8"
Motorized stage with 8"x8" XY travel
Motorized Z travel
Brightfield and darkfield inspection
(5-100) defects/measurements per second typical
200mm/s staging speed
Software controlled coaxial and backlight
Maximum stage load capacity 50lbs
Granite base and Z column
Closed loop linear stages with position feedback
0.05u resolution linear glass encoder
Software: RMS Vision Systems with color graphics, image archiving, and offline review of defects
Nikon microscope with motorized objective rotation
Tilting ultrawide trinocular viewing head with 10x eyepieces
Hitachi CCTV, Windows XP.
HOLOGENIX NGS 3500是一種用於檢測潛在缺陷和增強質量控制的掩模和晶圓檢測設備。其主要功能是促進半導體制造工藝的質量保證。該系統利用先進的光學器件來提高檢測的準確性和速度,使質量保證團隊能夠及時發現過程設計或生產執行中的潛在缺陷。NGS 3500利用穩定分束器和數字變焦鏡頭提供詳細、高質量的成像。物鏡用於放大圖案材料中的微觀缺陷，該單元可提供從150X到500 X的可調放大範圍。內置照明機以多種不同角度照亮樣品，在復雜的照明條件下實現缺陷檢測。該工具的實時3D成像是通過組合在不同深度拍攝的一系列圖像以創建3維圖像而精確構建的。此產品無需用戶手動插值多個圖像。因此，檢查時間可以顯著減少，資產可以在宏觀和微觀層面檢測缺陷。HOLOGENIX NGS 3500具有用戶友好的操作界面,無需操作員進行冗長的培訓或手動幹預。它在單個模型中結合了圖像采集和分析功能,允許用戶快速處理大量數據。此外,它還提供警報功能來檢測掩模和晶圓表面條件的趨勢和變化。NGS 3500是一種非常可靠的掩模和晶片檢測設備，因為它不僅檢測缺陷，而且提高質量控制。由於其集成的特點，該系統能夠減少半導體行業的檢測時間和提高工藝效率。
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