二手 HORIBA PD2-HR #9399895 待售

HORIBA PD2-HR是一種用於分析和檢查通過光刻工藝制造的半導體器件的掩模和晶片檢測設備。它是專門為檢查常規光學技術或其他電子成像系統無法檢測到的缺陷而開發的。該系統由真空室、控制臺、硬件、舞臺和掃描儀組成.真空室容納硬件組件，而控制臺用於輸入檢查參數並啟動該過程。舞臺容納半導體晶圓，用於根據用戶定義的檢驗過程移動晶圓。最後，掃描儀由電子槍和光學器件組成，將電子束聚焦在晶圓表面上。電子束有兩種模式：掃描和成像.在掃描模式下，光束被柵格穿過晶片收集與表面形態有關的數據，如粒度、形狀、深度和位置。在成像模式下，利用偏轉線圈傾斜光束，以拍攝晶圓的高分辨率圖像。PD2-HR使用超高分辨率電子顯微鏡來確保檢測到關鍵缺陷。其顯微鏡分辨率比常規電子顯微鏡高出3倍，意味著先進半導體技術（20 nm節點和更薄）的缺陷可以被快速準確地檢測到。此外，它的自動化計算機輔助缺陷審查單元使得它易於查看和評分潛在缺陷。該機器還具有先進的數據分析能力以及保存和存儲圖像和數據的能力。它還具有先進的檢測算法，用於識別和分類潛在缺陷類型，包括不同類型的顆粒汙染、劃痕、腐蝕、斷線和內存位置。最後，HORIBA PD2-HR是一種能夠檢測先進半導體器件微小缺陷的強大的掩模和晶圓檢測工具。它具有高分辨率的電子顯微鏡和自動化的計算機輔助缺陷審查資產、先進的數據分析能力以及易於保存和存儲圖像和數據的能力。它是廣泛的晶圓檢測過程的理想工具。