二手 HSEB AXIOSPECT 300 #9202569 待售

HSEB AXIOSPECT 300是一種高速、掩模和晶片檢測設備，設計用於半導體行業的晶片掩模檢測，精度高，效率高。它提供全面的覆蓋和臨界尺寸（CD）測量服務，檢測精度和可重復性為1 nm。它支持高生產吞吐量,最大基板尺寸可達300 mm。該系統配有功能強大的圖形用戶界面（GUI），便於訪問單元操作，如用戶控制、提示和標準測量。AXIOSPECT 300配備了一臺先進的光學機器，設計用於在一定範圍的納米（nm）分辨率下提供精確的測量。它采用獨特的雙通道光學設計，在成像和非成像模式下獲取晶圓掩碼的圖像。這使其成為評估定量和非定量特征的理想選擇。該工具配備了自動聚焦資產，可自動調整模型的焦點並確保高分辨率成像。它還擁有高速晶圓跟蹤設備，能夠快速、方便地在內存中檢測和存儲晶圓信息。該系統包括可幫助簡化生產時間的功能,例如自動模式識別功能以識別來自不同掩碼層的模式,以及自動數據分析以快速識別掩碼對齊中的任何差異。HSEB AXIOSPECT 300具有集成的數字INSPECTOR工具,具有自動調整功能,包括堆叠層分析、缺陷分析、圖片覆蓋和多光譜成像分析。這將有助於操作員立即診斷和排除掩碼對齊中的異常。為了保證質量，該單元具有強大的SPC監控功能，可以生成有關結果準確性和可重復性的實時報告。數據也可以以各種文件格式導出,以便於與其他軟件工具集成。除了這些質量保證功能外,該機器還配備了功能強大且易於使用的編輯、圖形和圖表生成功能,以顯示最終報告。總之,AXIOSPECT 300是一種高級檢查工具,旨在提供準確和可重復的結果。它配備了最先進的技術特性，幫助精簡生產流程，確保最高質量保證水平。