二手 HYPERNEX XRD #9311079 待售

HYPERNEX XRD是一種先進的掩模和晶片檢測設備，設計用於極精確地檢查和分析缺陷。該系統使用最新的自動光學檢查（AOI）技術來檢查和測量極紫外線（EUV）光刻面膜、薄膜和晶片圖樣特征中的缺陷。利用自動光學檢查,XRD能夠檢查尺寸不超過50 nm的特性,並具有很高的精度和速度。HYPERNEX XRD利用了分辨率極高的光學成像單元，以便對最微小的特征進行檢查。它配備了自適應、多孔徑成像機、無與倫比的光學分辨率、無與倫比的5 nm覆蓋精度，以及超高速Reticle Scanning模式。XRD采用名為［TMP_NAME]的特殊內置軟件包進行設計,它能夠測量各種關鍵項,如圖案、缺陷大小、深度、側橋（SB）、線緣粗糙度（LER）、網橋拐角、線寬變化和缺陷群集。它具有全自動的直列式儀表,能夠提供高精度的註冊和放置數據,精度為0.1 um。此外，該工具的設計是快速分析大量測量數據的高精度和穩定性。該資產具有用戶友好的圖形界面、強大的數據管理模型以及對多種語言的支持。此外,它還提供用於數據傳輸的USB和網絡連接,以及用於遠程控制的標準以太網和RS232/RS485連接。此外，該設備還具有控制圖像曝光水平的能力，以優化缺陷檢測和叠加精度，確保精確測量，無論樣品變化和環境變化如何。總體而言,HYPERNEX XRD是一種高級檢查和分析功能,可提供無與倫比的結果和改進的質量控制。它旨在確保對50 nm及以下尺寸的特性進行掩模和晶片特性檢查的極高精度。它非常適合半導體制造,具有高度的靈活性、成本效益和可靠性。