二手 ICOS WI-2000 #9215635 待售
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ICOS WI-2000是一種用於掩模和晶圓檢查的自動化設備。它使用先進的成像光學、精確的運動控制和先進的照明技術,以便在要求最苛刻的生產環境中獲得最佳性能。系統配置有一個獨特的200 mm活動場對齊階段。這樣,用戶就可以快速準確地對齊正在檢查的任何掩模或晶片。舞臺還可以上下移動進行高速檢查，允許最佳成像條件。WI-2000配備了兩種類型的照明系統-紫外線和可見。這兩種照明系統在檢查各種晶圓和掩模表面結構方面提供了卓越的性能。紫外線光源提供高對比度照明,用於檢測陣列或布局的任何變化。可見光源可以在檢查不透明基板時提高檢測靈敏度。ICOS WI-2000的成像光學和運動控制技術提供了納米分辨率來檢查到納米級以下的掩模特征。該單元使用非接觸式高分辨率（最多2 μ m像素間距的）成像來精確捕獲表面圖樣和缺陷信息。這種先進的成像技術還允許一次對多達三個晶片進行成像，數據采集速度比常規檢測系統快20倍。WI-2000具有高精度的機動化Z軸,能夠在+/-10mm的範圍內提高樣品完整性,並在對準過程中減少樣品磨損。用戶可以從兩種成像分辨率中進行選擇：高分辨率和低分辨率。利用低分辨率成像模式，ICOS WI-2000可以在不犧牲精度的情況下高速檢查布局復雜的晶圓和掩碼。WI-2000是一臺自動化機器，由直觀的圖形用戶界面提供動力，便於操作和適應各種檢查目標。此外,該工具支持多種接口和檢查模式,允許用戶根據其特定檢查要求定制資產。ICOS WI-2000是精確檢測口罩和晶片的理想模型。它能夠用精確的電動Z軸兩個照明系統快速捕捉高分辨率圖像，而且使用方便。通過這些功能,WI-2000可以自定義以滿足任何檢查任務的特定要求並提供最佳結果。
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