二手 INTELLEMETRICS IL-510 #123172 待售

INTELLEMETRICS IL-510是一種面罩和晶片檢查設備，設計用於提供精確可靠的光刻檢查分析測量。這套先進的系統集成了多種先進的光學和成像技術，用於檢查和識別光刻面膜和晶片中的缺陷。IL-510以每秒高達60,000張圖像的速度對接觸和陰影掩模進行高速光學檢查,從而能夠快速檢測和分類缺陷。對於接觸面罩，該單元配備了全自動和可編程的成像機，使用光面罩平場聚焦工具來收集圖像。此資產專為快速缺陷審查和識別而設計,具有先進的高光校準功能,可確保卓越的圖像質量和精度。此外，該型號具有先進的圖像處理能力，可以降低圖像噪聲，消除背景幹擾，提高整體圖像對比度。對於陰影蒙版，INTELLEMETRICS IL-510配備了可編程變焦光學設備，在1微米的分辨率下提供高達1000X的卓越放大倍率。該系統還包括數字自動圖像分析儀、激光線路照明單元和可編程均勻場照明等功能，用於檢查掩模兩側的缺陷。此外，IL-510利用高精度對齊和計算系統來識別和評估不同類型的缺陷。這臺機器能夠識別隨機缺陷、堵塞、針孔、峰值和NTF拍板,精度低至0.01微米。此外，INTELLEMETRICS IL-510裝有高精度基準工具，用於精確對準掃描晶片。IL-510符合行業要求,如SEMI M1/M2和ESD標準。集成晶圓處理資產允許多達1000個晶圓在沒有人工幹預的情況下進行檢查和校準。該模型還可以與現有的光刻設備和工藝控制系統相結合，以提供精確可靠的光刻面罩和晶片測量。總體而言,INTELLEMETRICS IL-510提供全自動、高速和高分辨率的掩模和晶圓檢測設備,以最大限度地提高生產率並確保卓越的產品質量。