二手 INTELLEMETRICS LEP300 #9123983 待售

ID: 9123983
優質的: 2001
End point detector system 2001 vintage.
INTELLEMETRICS LEP300是一種高性能的掩模和晶圓檢查設備,它利用4區成像技術來檢查平板顯示器上與結構相關的缺陷。它旨在識別可能無法通過其他方法檢測到的細微缺陷,例如在叠代模式繪制過程後出現的修改以及通過使用缺口進行的修改。該系統能夠在子像素級別捕獲圖像數據並識別缺陷。LEP300的主要部件是高分辨率、寬帶視覺相機、光源、各種分割放大倍率的鏡頭、光學濾鏡和CCD線掃描檢測器。這些相機能夠產生非常高圖像質量的動態圖像。使用特殊的光學濾鏡來幫助相機捕捉面板上的相關缺陷。攝像機還采用高級圖像執行技術來提高圖像質量。該單位有四個不同的區域,具有獨特的檢查能力。MacroZA區域檢查陣列結構是否有一般缺陷和顆粒,而MicroZA區域檢查缺陷大小、形狀、間距和間隙寬度。DetZA區域檢查可能影響光學性能的復雜缺陷,SmallZA區域檢查肉眼通常看不到的小缺陷。所有這些區域結合起來,對面板進行全面檢查。INTELLEMETRICS LEP300配備了精密的實時分析軟件,結合了各種圖像處理算法來檢測和測量圖像數據中的缺陷。該軟件還允許在多個工作站之間快速傳輸數據,並允許自定義數據捕獲速度。此外,機器的高級分析器功能允許檢測與結構相關的缺陷,以及進行較小的修改。總體而言,LEP300是一種功能極其強大、效率極高的掩模和晶圓檢測工具。其先進的4區成像技術有助於檢測和測量亞像素級別的缺陷,即使在復雜的模式和修改中也能增強缺陷檢測。憑借其集成的圖像處理算法和復雜的數據捕獲,該資產非常適合現代自動化制造操作。
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