二手 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3 #9080750 待售

ID: 9080750
Wafer Inspection systems.
IRVINE OPTICAL Ultrastation 3是一款最先進的數字掩模和晶圓檢測設備,旨在滿足半導體制造商要求的高水平的均勻性和準確性。該系統專為最大限度地提高生產效率和吞吐量,並最大限度地降低成本和運營停機時間而設計。Ultrastation 3由一個強大的電動級驅動,能夠精確的多層對準和分辨率缺陷低至1微米。該單元使用一組相機來捕捉每一個掩模和晶圓的圖像。獲取相機圖像後,中央計算機將圖像組合起來,創建掩碼和晶圓的虛擬表示。IRVINE OPTICAL Ultrastation 3還提供了大量專門的圖像處理和缺陷分析工具。其中包括內置光學檢查、精確測量電氣特性、高速成像。使用Ultrastation 3,制造商可以同時執行多個測試,並快速檢查多個掩碼和晶片。這種可靠性和吞吐量提高了制造過程的效率。該工具還提供了一些高級功能,以確保高精度。這些包括自適應光學、均勻性校正和暗場測量。Adaptive Optics功能允許資產準確確定缺陷在特定晶圓或掩碼中的確切位置。該信息可用於減少掩模不對齊,改善沈積控制。「統一校正」功能通過防止檢查過程中可能出現的任何錯誤,確保所檢查的圖像和測量是可靠和準確的。Dark Field Measurements允許測量最微弱的缺陷,確保正確識別和檢查所有缺陷。IRVINE OPTICAL Ultrastation 3還提供了一些有益的附加功能,如帶註釋的缺陷庫、報告功能和自動設置。這些功能有助於確保整個掩模和晶片檢查過程盡可能高效和準確。整體Ultrastation 3是一種先進、高效、可靠的掩模和晶圓檢測模型。它提供了一整套功能,旨在確保精確度,同時還提供了一系列功能,以最大限度地提高效率和吞吐量。
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