二手 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B Model 2 #9157323 待售

IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B Model 2
ID: 9157323
晶圓大小: 6"
Wafer inspection system, 6" NIKON BD Plan optics Trinocular head.
IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B Model 2,是一種用於半導體制造工藝的最先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統提供了一個有效的工具來處理具有挑戰性的蒙版圖樣在先進的光刻。它還可以在分析隨機缺陷位置(包括邊緣缺陷)時很好地工作。Ultrastation 3B具有電動xy級,最大行程為200 um × 200 mm,可提供高精度。舞臺的任務是提供視頻速率精度、平滑運動和精確定位。該單元還包括一個增強的自動對齊軟件,它提供了更快的工具,從而進一步縮短了與工具設置過程相關的停機時間。Ultrastation 3 B利用亮場照明器為掩模和晶片的邊緣檢查提供卓越的可見度。Ultrastation 3B以其明亮的照明與優化的電信機相結合,具有檢測高分辨率低級缺陷的能力。該機具有高達每秒19幀的圖像捕獲速率,以實現卓越的圖像采集質量。此外,該工具的相機還集成了3D自適應光學元件,可增強成像效果。Ultrastation 3B還包括用於掩碼和晶圓處理的雙軸轉移機器人。機器人利用運輸臂,包括一個自動芯片捕獲單元。芯片捕獲單元具有快速定位目標和捕獲掩碼或晶片而不損壞邊緣或芯片本身的功能。IRVINE OPTICAL ULTRASTATION 3.B MODEL 2是一種高度精密和高效的掩模和晶圓檢測資產。它結合了最新技術,提供了一臺全面、高質量的機器,在面膜和晶圓檢測方面引領行業發展。Ultrastation 3B完全可定制,為各種晶圓圖樣檢測需求提供了全面的解決方案。這一模式是半導體專業人士的選擇,在未來幾年裏肯定會成為晶圓型式檢測系統中的頂級、經濟高效、可靠的選擇。
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