二手 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B #7444 待售

ID: 7444
晶圓大小: 3", 4", 5", 6"
Wafer Inspection system with wafer loader, 3"-6" Nikon optics including 10x, 20x, 40x, 60x, BD objectives Bright field, dark field reflected light measurements 8"x15" stage 6"x6" stage movement.
IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B是為廣泛的半導體應用而設計的功能強大且高度精確的掩模和晶圓檢測設備。超聲由幾個模塊組成,包括臨界尺寸(CD)測量模塊、自動缺陷檢查(ADI)模塊、自動光學檢查(AOI)模塊、晶圓檢查模塊和屈服分析模塊。首先,CD測量模塊配備了先進的光學器件,具有新的0.7微米精度,能夠快速、精確和可重復的測量。多顯微鏡目標、廣闊的視野和集成的激光自動對焦系統使其成為可靠、簡單、通用的測量工具。同時,ADI模塊是一個橫截面觀測單元,用戶可以根據其大小和形狀快速識別晶圓圖案區域和周圍劃線的缺陷。它具有多重成像選項,允許用戶同時從最多兩個位置獲取數據。IRVINE OPTICAL ULTRASTATION 3 B的AOI模塊利用圖像比較和先進的模式匹配算法,提供了有效的缺陷檢測和分類。它可以檢測微觀和宏觀缺陷,如劃痕、顆粒、汙漬和劃痕,以及橋接和打開。它還能夠跟蹤和計數模式,如電線和通風孔。晶圓檢測模塊提供了一整套計量功能,包括二維模式分析、BGA分析、間距比較分析和集成缺陷分析。它設計用於掃描速度比傳統系統快10倍,其自動化系統提供精確且可重復的讀數。最後,產量分析模塊幫助組織優化其產品的產量性能。它提供高級功能,如實時產量跟蹤和質量控制,以及報告功能。它還提供可用於監視缺陷趨勢和識別產量問題的圖形顯示。綜上所述,Irvine Optics Ultrastation 3B是一款先進的蒙版和晶圓檢測機,融合了性能、精度和全套測量和屈服分析工具。它是尋求全面、可靠和用戶友好的設備以滿足其半導體應用需求的組織的理想選擇。
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