二手 IRVINE OPTICAL Ultrastation #293792555 待售

IRVINE OPTICAL Ultrastation是一款先進的掩模和晶圓檢測設備，其設計目的是在缺陷密度低、精度、可重復性和吞吐量方面提供優異的效果。該系統非常適合晶圓和標線檢查、表面和界面分析以及微電子過程評估中的自動光學檢查和計量需要。Ultrastation具有先進的光學設計,可提供卓越的成像和亮場照明。該單元配備了高精度的機械和光學級，能夠在X、Y和Z方向上精確移動。這項先進的技術使它能夠為每個測量提供高度準確和可重復的配置文件。該機器還包括一個用於捕捉所有類型的掩模和晶片圖像的高分辨率相機，以及一個用於表面、應變和薄膜厚度測量的紅外敏感檢測相機。為確保最大精度,IRVINE OPTICAL Ultrastation采用了高精度對準工具。此資產有助於調整檢查設備,並確保在整個分析過程中正確關註。此外,Ultrastation還使用QuadLight反照率輪廓工具進行設計,以測量光刻結構,準確識別潛在的錯誤,並快速解決任何不規則性。IRVINE OPTICAL Ultrastation還利用先進的軟件來確保每個分析都符合最高質量標準。STORM軟件套件在Windows平臺上運行,為用戶提供了一個易於使用的界面,用於測量、成像和分析示例圖像。分析功能包括自動表檢測、網格定義、元素區域定義、邊緣檢測、孤島分析、剖面線分析、相位分離分析和層移分析。除此之外，Ultrastation還配備了獨特的空間相位分析技術，幫助避免需要昂貴的多階段，並允許實時識別光刻場、線條、圓圈等特征。簡而言之，IRVINE OPTICAL Ultrastation是一個通用的模型，為用戶提供了一套全面的功能，以優化晶圓和掩模的檢查和分析。