二手 J-MAR S2610-01-01 #9211242 待售

J-MAR S2610-01-01是半導體工業中使用的高精度掩模和晶圓檢測設備。該系統利用先進的光學、激光和基於軟件的自動化檢測技術，準確測量和準確檢測矽片、掩模、互連等多種先進材料中的缺陷。該單元配備了多種傳感器，包括1024 x 1024分辨率的微觀CCD相機。這款高分辨率相機讓操作員甚至可以檢測到最小的表面缺陷到納米尺度。此外，還包括一臺0.05微米光斑尺寸的並聯共焦激光機，用於高度精確的測量。該工具還采用了一種稱為激光光束剝離（LBS）的專有光學技術，該技術甚至可以檢測薄至0.1微米的材料最薄層。該資產由一個名為WIP控制模型（WIPCS）的定制軟件包供電。此軟件為用戶提供了強大而準確的缺陷檢測功能,包括陣列匹配、3D形狀分析和最佳擬合分析。這保證了即使是最精密的工藝，如電子攝影（E-beam）和先進的光刻，也能得到準確有效的監控。結合先進的光學和傳感技術，S2610-01-01設備還配備了先進的自動化過程控制功能。這些功能確保所有流程都能可靠地、高效地運行。這些功能的受控自動化和集成可以降低運營成本並提高流程產量。最後,該系統附帶了一套數據分析軟件,用於詳細評估缺陷監控、特征測量和其他關鍵過程變量。此分析確保了最高質量的產品輸出和最高的效率。綜上所述，J-MAR S2610-01-01是一種結合先進光學、激光和基於軟件的自動化檢測技術來檢測和精確測量納米級缺陷的高科技掩模和晶圓檢測裝置。它還配備了過程控制功能和數據分析軟件，以實現產品的最佳輸出。這臺機器非常適合電子光束和先進光刻等先進工藝。