二手 KEM / KOKUSAI VR-120SD #9095788 待售

ID: 9095788
System, 12".
KEM/KOKUSAI VR-120SD是一種用於檢測各種表面缺陷、汙染和工藝變化的掩模和晶圓檢測設備。該系統能夠檢查淺層溝槽隔離(STI)和各種先進材料和材料組合,如具有廣泛基材和厚度的SiGe。該單元包括一個用於詳細缺陷捕獲和分析的集成2D/3D攝像頭,以及一個工業4.0就緒制造過程控制機器。KEM VR-120SD采用最新的業界領先的FurttoD9檢測算法,能夠實現超高速圖像采集和準確分析缺陷。它能夠精確測量10微米或10微米以上的微小缺陷,而不會產生任何誤報率。該工具可配置為掃描STI和高級計量的各個方面,如電阻率、應力、組成等,並保證最大精度。資產直觀的UX/UI和用戶友好的觸摸屏界面為用戶提供了易於理解的界面,簡化了檢查過程。此外,它還具有多種選項,可用於自定義檢查參數,確保檢查結果的一致性和準確性。KOKUSAI不僅VR-120SD提供高質量的圖像采集,而且還提供包括圖像過濾、對比度調整和缺陷分類在內的高級功能。VR-120SD還提供了各種附加功能,例如缺陷報告、過程結束數據收集和批處理摘要報告,以及各種格式的數據導出。此外,該模型采用開放式體系結構進行設計,能夠在測試和過程控制環境中與其他設備進行高效集成,從而提高生產率並縮短周期時間。總之,KEM/KOKUSAI VR-120SD是一種功能強大、用途廣泛的掩模和晶片檢測設備,能夠檢測到各種缺陷。此系統不僅提供圖像捕獲和分析等高級功能,而且用戶還可以利用批處理摘要報告等附加功能,以及直觀的UI來簡化檢查過程。
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