二手 KEM / KOKUSAI VR-70 #9157351 待售

KEM/KOKUSAI VR-70是一種高性能的掩模和晶片檢測設備，設計用於光掩模和晶片的檢測。它執行多個檢查，包括光學檢查、缺陷分類、缺陷計數、印刷、平整度、模具表面和晶圓平整度測量。該系統采用先進的高分辨率圖像形成單元，以極好的重復性和準確性獲取光掩模或晶圓表面的實時圖像。然後用超高速激光成像機和快速模具級檢測算法處理獲得的圖像的缺陷位置和分類。KEM VR-70提供高速檢測速度，吞吐量為3,000晶圓/小時。該工具采用波長為532 nm的波束成形技術，以高達250幀/秒的幀速率獲取圖像，圖像質量分辨率高達75 nm。然後對獲取的圖像進行高級晶片表面分析,以進行缺陷檢測、分類和計數。它可以檢測和分類缺陷,如故障、圖樣和打印錯誤,並具有很高的準確性和可靠性。此外，KOKUSAI VR-70資產提供了一個自動化和用戶友好的操作員界面，使用戶能夠高效設置測量、分析結果和確認質量。該模型還采用了線性衍射光柵掃描設備（LDSS），從不同的打印尺寸提供穩定、高分辨率和可靠的晶圓平面度測量。該系統能夠提供精確的表面振動和傾斜測量，以滿足對表面拓撲的嚴格要求。綜上所述，VR-70是一個先進的掩模和晶圓檢測單元，為光掩模和晶圓表面的檢測提供了高性能、準確性和可靠性。它配備了先進的高分辨率成像機、超高速激光成像工具和模具級檢測算法，使資產能夠快速準確地檢測、分類和計數晶片表面的缺陷。該模型還具有自動化和用戶友好的操作員界面以及用於精確表面拓撲測量的線性衍射光柵掃描設備（LDSS）。