二手 KLA / ICOS CI 5150 #9279505 待售

KLA/ICOS CI 5150是用於半導體加工的最先進的掩模和晶圓檢測設備。它旨在對采用先進光刻技術生產的芯片上的關鍵工序區域進行高速、自動的檢查。該系統配備了一個先進的CCD成像單元，可捕獲分辨率高達每像素25微米的圖像。然後,機器執行一系列高級圖像處理技術,包括使用濾鏡識別潛在缺陷。然後利用缺陷檢測算法對圖像進行分析和評估，對發現的缺陷進行檢測、分類和測量。該工具可以同時檢查多達128個掩模和晶片,從而實現高通量生產高容量芯片。KLA CI 5150包括一個集成顯微鏡資產，允許檢查小至0.25微米的芯片特征。此外，檢查模型還配備了獨特的對比度調整功能，使設備能夠檢測到尺寸或亮度差異很大的缺陷。ICOS CI-5150還包括旨在提高可用性的附加功能。該系統包括易於使用的圖形用戶界面（GUI），為操作員提供對缺陷圖像的實時查看和分析。此外,該設備還配備了智能自動對齊功能,使機器能夠將復雜的模式與芯片上的目標模式對齊。該工具設計效率極高，使其能夠保持高吞吐量，滿足半導體芯片生產的嚴格要求。這一點，加上它的經濟性，使得KLA CI-5150一個有吸引力的解決方案，在半導體生產過程中檢查和驗證蒙版和晶片。