二手 KLA / ICOS CI 8250 #293602014 待售
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KLA/ICOS CI 8250掩模和晶圓檢測設備是一種全面、高性能的自動化檢測解決方案。它專為掩模和晶片應用而設計,使用高級高分辨率攝像機和動力雙軸運動級來掃描和檢測微電子設備中的缺陷。檢測是半導體器件制造的關鍵因素,KLA CI 8250采用先進的模式識別技術,以確保高精度和重復性。每臺設備都會逐步進行檢查,首先只需對每個零件進行成像,然後識別邊緣和其他特征,然後再進入詳細的檢查階段。該系統具有一整套特性和功能,可確保高性能和可靠性。晶圓和掩模可以同時讀取和分析,兩臺相機各提供1.2倍和5倍的放大倍率,最大精度。在此過程中,還可以隨時調整聚焦,以提高精度。然後,一個復雜的模式識別算法將運行檢查過程。該設備可檢測微小缺陷、死點和其他問題,晶圓中的問題降至1 µm,掩模應用中的問題降至0.14 µm。ICOS CI-8250還包括一套軟件工具,通過質量指標、產量分析和其他數據指標改進流程。這些高級功能使機器能夠以高精度和可重復性檢測到亞微米級別的各種缺陷。該工具提供靜態和動態檢查,後者允許在檢測到缺陷時進行多次叠代;這為各種產品的質量保證提供了有力的驗證。除了高級檢查功能外,ICOS CI 8250還提供自動配方創建和安全的測試數據管理功能。用戶界面采用簡單、直觀的設計,便於設置和利用資產。該模型符合所有相關安全標準,並與廣泛的半導體工藝兼容。總體而言,CI-8250 Mask and Wafer Inspection Equipment是一種先進的自動化解決方案,用於準確、可重復地檢測半導體零件中的缺陷。它具有廣泛的功能,包括高分辨率攝像機、亞微米檢測和多級檢測過程,加上用於質量保證和安全測試數據管理的高級軟件功能。
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